▋ 设备优势 |
●具备平面CT功能(PCT),可应用于印刷线路板、SMT、IGBT、晶圆等3D/CT检测 ●具备锥束CT功能,可应用于传感器、继电器、微型马达、材料、铝铸件检测 ●便利的360°定点观察模式 ●2D气泡检测软件模块(选配) ●3D测量及分析软件模块(选配) |
▋ 应用领域 |
●PCB上焊点焊接质量检测、BGA元器件、集成电路(IC)及其绑定线检测、半导体封装检测及内部连接、电子功率(IGBT)模块检测、Wafe缺陷检测(WLCSP) ●传感器、继电器、保险丝、线圈、微型驱动系统及空气囊控制系统、微型马达(MEMS, MOEMS)、线缆及插头、塑料件,各种材料,如塑料、陶瓷、生物材料,光学元器件、小型钛铸件和铝铸件检测 |
▋ 硬件参数 |
X射线源 |
光管类型 |
开放式微焦点透射射线源 |
光管电压 |
25 ~ 160KV |
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操作电流 |
10 ~ 1000 uA |
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最大管功率 |
64 W |
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最大靶功率 |
10 W |
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最小物距 |
250 um |
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微焦点尺寸 |
1 um |
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最小缺陷检测能力 |
<500 nm |
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平板探测器 |
探测器类型 |
非晶硅平板探测器(可选) |
像素矩阵 |
1536×1536 |
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视场范围 |
154mm×154mm |
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分辨率 |
5Lp/mm |
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图像帧率(1×1) |
60fps |
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AD转换位数 |
16bits |
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3D/CT参数 |
CT扫描周期 |
20 s |
CT重构时间 |
30 s |
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设备参数 |
最大样品尺寸 |
750mm×650mm |
最大检测区域 |
550mm×550mm |
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图像几何放大倍率 |
2000X |
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输入电源 |
220V 10A 50-60HZ |
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控制系统 |
DELL Precision T7920图形工作站 |
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外形尺寸 |
L1600mm×W1700mm×H2000mm |
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设备净重 |
约2950KG |